[发明专利]空心的聚合物-碱土金属氧化物复合体有效

专利信息
申请号: 201310167223.2 申请日: 2013-05-08
公开(公告)号: CN103386648A 公开(公告)日: 2013-11-13
发明(设计)人: A·R·旺克;D·M·阿尔登;D·B·詹姆斯 申请(专利权)人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
主分类号: B24B37/24 分类号: B24B37/24
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 项丹
地址: 美国特*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供了多种嵌有碱土金属氧化物的聚合物颗粒。气体填充的聚合物微元件具有壳以及5g/L-200g/L的密度。壳具有外表面以及5μm-200μm的直径,气体填充的聚合物颗粒的壳的外表面具有嵌入聚合物中的含碱土金属氧化物颗粒。所述含碱土金属氧化物颗粒的平均粒度为0.01-3μm,分布在各个聚合物微元件内,以覆盖所述聚合物微元件小于50%的外表面。
搜索关键词: 空心 聚合物 碱土金属 氧化物 复合体
【主权项】:
多个嵌有碱土金属氧化物的聚合物颗粒,所述聚合物颗粒包含:气体填充的聚合物微元件,所述气体填充的聚合物微元件具有壳以及5g/L‑200g/L的密度,所述壳具有外表面以及5μm‑200μm的直径,气体填充的聚合物颗粒的壳的外表面具有嵌入聚合物中的含碱土金属氧化物颗粒,所述含碱土金属氧化物颗粒的平均粒度为0.01‑3μm;所述含碱土金属氧化物颗粒分布在各个聚合物微元件中,含碱土金属氧化物区域被分隔开,以覆盖所述聚合物微元件小于50%的外表面;并且总量小于0.1重量%的聚合物微元件与以下组分相结合:i)粒度大于5μm的含碱土金属氧化物颗粒;ii)覆盖了聚合物微元件超过50%的外表面的含碱土金属氧化物区域;以及iii)聚合物微元件,所述聚合物微元件与含碱土金属氧化物颗粒团聚至平均簇尺寸大于120μm。
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