[发明专利]激光回馈干涉仪

摘要

本发明涉及一种激光回馈干涉仪，其包括：一微片激光器，一分光镜，一第一移频器，一第二移频器，一汇聚透镜，至少两个光电探测器，一电信号处理系统，以及一数据采集处理系统。其中，所述微片激光器可以同时输出至少两束单纵模且为基横模的平行光束，该至少两束平行光束可以作为测量光，并用于测量一待测目标的多个自由度信息。

主权项

一种激光回馈干涉仪，其特征在于，包括：一微片激光器，用于同时输出至少两束单纵模且为基横模的平行激光；一分光镜，设置在所述激光的射出光路上，并将每一束激光分成两路光，一路光为透射光，一路光为反射光；一衍射模组，设置在所述透射光的光路上，用于使每一束透射光均发生两次衍射，从而形成至少两束两次衍射光线；一汇聚透镜，该汇聚透镜设置在所述至少两束两次衍射光线的输出光路上，用于将所述至少两束两次衍射光线汇聚到一待测目标上，汇聚后的所述至少两束两次衍射光线经该待测目标反射，沿该至少两束两次衍射光线的原光路返回到所述微片激光器中调制并出射形成至少两束测量回馈光；至少两个光电探测器，设置在所述反射光的光路上，用于分别对所述至少两束测量回馈光进行光电转换；一电信号处理系统，与所述至少两个光电探测器以及衍射模组电连接，用于测量所述至少两束测量回馈光的相位变化量；以及一数据采集处理系统，与所述电信号处理系统电连接，用于根据所述至少两束测量回馈光的相位变化量来获得所述待测目标的至少两个自由度信息。