[发明专利]一种光掩模中心偏移测量装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种光掩模中心偏移测量装置及其测量方法，通过将掩模放置于移动工作台上，在移动工作台运行的过程中，通过对相对于设计掩模的中心对称的两处位置及掩模两侧边线进行定位，移动工作台移动的距离则为对称的两处位置至其对应一侧的边线的距离，如果两个距离相等，则掩模不存在中心偏移，如果不等，则两个距离的差值的绝对值则为中心偏移量；采用此测量装置及测量方法，一方面可有效提高测量精度，减小测量误差，保证测量精度满足现有技术的需求；另一方面，在测量时，仅放置掩模的移动工作台与其接触，因此避免出现掩模划伤损坏、报废等问题，降低使用成本，保证了使用的安全性。

主权项

一种光掩模中心偏移测量装置，其特征在于，包括移动工作台、定位仪，以及与所述移动工作台电连接的数据显示器；所述掩模放置于所述移动工作台上，所述定位仪设置于所述移动工作台的一侧或上方；所述定位仪用于对掩模上的不同位置进行定位检测，所述数据显示器用于显示所述移动工作台的位移变化量；在移动工作台运行的过程中，通过对相对于设计掩模的中心对称的两处位置及掩模两侧边线进行定位，计算移动工作台的位移量以确定偏移量。