[发明专利]一种TaVN复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201310138383.4 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN103255373A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 许俊华;喻利花;薛亚萍 | 申请（专利权）人： | 江苏科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212003*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种TaVN复合涂层，其特征在于是在氮气与氩气的混合气体氛围下，以金属、硬质合金或陶瓷为基体，采用高纯Ta靶和高纯V靶共溅射，V元素的原子百分比为0～46.7at%且大于0，先在基片上沉积纯Ta层作为过渡层，然后再沉积1.5-2μm的TaVN复合膜。所得TaVN膜层硬度为30-34GPa，常温下的摩擦系数最低为0.56，高温下的摩擦系数最低为0.5。可作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tavn 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
TaVN复合涂层，其特征在于是采用高纯Ta靶和高纯V靶共溅射，沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体上得到的，TaVN膜层的厚度为1～3μm，硬度为30～34GPa，常温下的摩擦系数最低为0.56，高温下的摩擦系数最低为0.5。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏科技大学，未经江苏科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310138383.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种复配型农田、果树杀螨剂
- 下一篇：一种新型安全蚊香盒
- 同类专利
- 专利分类
