[发明专利]用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR相位测量方法无效
| 申请号： | 201310137996.6 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN103226007A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 刘庆钢;刘超;樊志国;刘士毅;陈良泽;梁君 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 天津才智专利商标代理有限公司 12108 | 代理人： | 王顕 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR相位测量方法，步骤一：建立TM偏振波和TE偏振波的相位变化量差值随金属薄膜厚度变化的标准曲线图，并求得对应的拟合公式；步骤二：获取棱镜型SPR传感器镀膜区域的镀膜干涉条纹图像；步骤三：获取棱镜型SPR传感器非镀膜区域的干涉条纹图像；步骤四：将步骤二和步骤三获取的图像进行比对、计算，得到镀膜区域TM偏振波和TE偏振波的相位变化量差值；步骤五：将步骤四中的计算结果代入在步骤一所述标准曲线图的拟合公式中获取金属薄膜厚度的值。本发明的有益效果是：本发明是采用激光干涉对TM偏振波和TE偏振波进行相位调制，能够实现非接触、高精度、便于操作的测量纳米级金属薄膜厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 纳米 金属 薄膜 厚度 spr 相位 测量方法 | ||
【主权项】：
一种用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR相位测量方法，其特征是：步骤如下：步骤一：建立TM偏振波和TE偏振波的相位变化量差值随金属薄膜厚度变化的标准曲线图，并求得对应的拟合公式；步骤二：获取棱镜型SPR传感器镀膜区域的镀膜干涉条纹图像；步骤三：获取棱镜型SPR传感器非镀膜区域的干涉条纹图像；步骤四：将步骤二和步骤三获取的图像进行比对、计算，得到镀膜区域TM偏振波和TE偏振波的相位变化量差值；步骤五：将步骤四中的计算结果代入在步骤一所述标准曲线图的拟合公式中获取金属薄膜厚度的值。
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