[发明专利]一种紫外正型光刻胶有效
| 申请号： | 201310137779.7 | 申请日： | 2013-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN103605261B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 周晓莉 | 申请（专利权）人： | 深圳莱斯迈迪立体电路科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 郭少晶 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种可以用高压汞灯或输出波长为355nm的Nd:YAG激光的三倍频激光进行曝光的紫外正型光刻胶，该光刻胶由成膜树脂2,8,14,20,26,32,38,44‑八（对羟基苯基）杯[8]芳烃、感光剂7,8‑二（2‑重氮‑1,2‑二氢‑1‑氧‑5‑萘磺酰氧基）‑4‑甲基香豆素和混合溶剂乙二醇甲醚乙酸酯和乳酸乙酯构成。该光刻胶经涂胶、前烘、曝光、显影等步骤，所得光刻线条的分辨率可以达到0.35μm，且光刻线条边缘陡直平滑，无针孔问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种紫外正型光刻胶，该光刻胶由成膜树脂、感光剂和混合溶剂构成，其成膜树脂为2,8,14,20,26,32,38,44‑八（对羟基苯基）杯[8]芳烃，感光剂为7,8‑二（2‑重氮‑1,2‑二氢‑1‑氧‑5‑萘磺酰氧基）‑4‑甲基香豆素，溶剂为混合溶剂乙二醇甲醚乙酸酯和乳酸乙酯；其中，成膜树脂的质量百分比为1～50％，感光剂的质量百分比为1～40％，其余部分为混合溶剂，混合溶剂中两种成分的质量比1：1；该紫外正型光刻胶的制备步骤为：将成膜树脂和感光剂按加入的量溶于溶剂，待完全溶解后，用超滤膜或超滤器过滤即可，然后避光低温保存；该紫外正型光刻胶经涂胶、前烘后，可以利用高压汞灯或输出波长为355nm的Nd:YAG激光的三倍频激光进行曝光，显影后，该光刻胶的分辨率可以达到0.35μm，且光刻线条边缘陡直平滑，无针孔问题。
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