[发明专利]一种平面显示器用钼钨合金溅射靶材及其制备方法无效
| 申请号： | 201310130857.0 | 申请日： | 2013-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN103255379A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 赵文普;高建杰 | 申请（专利权）人： | 洛阳高新四丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F1/00;C22C27/04;B21B37/16;B21B37/74 |
| 代理公司： | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人： | 杨妙琴 |
| 地址： | 471005 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种钼钨合金平面溅射靶材,尤其涉及一种平面显示器用钼钨合金溅射靶材及其制备方法。所述靶材由80-96.5%钼粉和3.5-20%钨粉制成，其制备方法包括：备料-配粉-机械合金化-装模-冷等静压压制-烧结-热轧-真空退火-机械加工。本发明制造工艺简单，对设备要求不高，投入成本较低，制备出的靶材致密性较好，相对密度达到99%以上，同时本发明工艺使得钼钨合金晶粒细化，优化了其晶粒结构，使用该产品在镀膜时，薄膜的均匀性和薄膜质量大大提高，满足了平面显示器镀膜生产线对溅射靶材的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 显示 器用 合金 溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种平面显示器用钼钨合金溅射靶材，其特征在于，由以下重量配比原料制成：80‑96.5%钼粉和3.5‑20%钨粉。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洛阳高新四丰电子材料有限公司，未经洛阳高新四丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310130857.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于测量钢卷缩颈部位的卡尺
- 下一篇：便携式小茶炉
- 同类专利
- 专利分类
