[发明专利]石墨烯器件制造装置和使用该装置的石墨烯器件制造方法

摘要

本发明提供一种石墨烯器件制造装置和使用该装置的石墨烯器件制造方法。该石墨烯器件制造装置包括电极；石墨烯结构，包括基板、形成在基板上的金属催化剂层、形成在金属催化剂层上的石墨烯层、以及形成在石墨烯层上的保护层；电源单元，在电极和金属催化剂层之间施加电压；槽，容纳电极和石墨烯结构；以及在槽中准备的电解液。

主权项

一种石墨烯器件制造方法，包括：形成石墨烯结构，该石墨烯结构包括基板、形成在所述基板上的金属催化剂层、形成在所述金属催化剂层上的石墨烯层、以及形成在所述石墨烯层上的保护层；通过因化学反应而在所述基板和所述金属催化剂层之间产生气泡，使所述金属催化剂层与所述基板分离；去除与所述基板分离的所述金属催化剂层；在目标基板上形成目标绝缘层之后，使所述石墨烯层接触所述目标绝缘层；以及使所述石墨烯层接触所述目标绝缘层之后，去除所述保护层。