[发明专利]一种具有出水水质调节机构的超纯水制备装置

摘要

本发明公开了一种具有出水水质调节机构的超纯水制备装置。包括两套超纯水制备装置、两个纯水泵、储存槽、用水点、水质检测点；两个纯水泵分别位于储存槽后和两套超纯水制备装置中间，储存槽后和用水点之间连接有一条支路，上有一调节阀，配管上安装有两个流量计分别检测系统入水流量和经过超纯水制备装置的流量。支路流量反馈量与储存槽后的纯水泵形成控制回路，出口压力反馈量与另一个位于超纯水制备装置之间的纯水泵形成控制回路，实现了出口压力和支路流量的同时控制，且支路中的超纯水可以实现两个方向上的流动。这样，通过对支路流量的控制实现对出水水质的调节，充分的利用了系统资源并节省了系统的耗材的消耗。

主权项

一种具有出水水质调节机构的超纯水制备装置，包括两套超纯水制备装置（3，5）、第一个纯水泵（4）、储存槽（1）、用水点（6）和水质检测点（7）；储存槽(1）的一端接前端进水，储存槽（1）的另一端依次经第一进水配管（13）、第一超纯水制备装置（3）、第一个纯水泵（4）和第二超纯水制备装置（5）后，经出水配管（14）分为两路，第一路经出水配管（14）接用水点（6），第二路经检测配管接水质检测点（7），在出水配管（14）上接压力表（11），压力表（11）的信号反馈给第一个纯水泵（4）的控制器；其特征在于：在储存槽（1）的另一端经第二进水配管（12）、第二个纯水泵（2）、第一进水配管（13）接第一超纯水制备装置（3），出水配管（14）和第一进水配管（13）间并联的支路配管（16）上接有调节阀（8），在第一进水配管（13）与支路配管（16）交点的第二个纯水泵（2）一侧安装进水流量计（9），在第一进水配管（13）与支路配管（16）交点的第一超纯水制备装置（3）一侧安装处理水流量计（10），进水流量计（9）与处理水流量计（10）的信号求差后反馈给第二个纯水泵（2）的控制器。