[发明专利]处理基板的设备和方法有效
| 申请号： | 201310105527.6 | 申请日： | 2013-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN103357607A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 卢焕益 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 韩国忠淸南道天*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板处理设备，包括：壳体，提供执行工艺的空间；旋转头，支撑和旋转基板；以及喷射单元，将流体喷射在所述基板上。所述喷射单元包括：第一喷嘴，雾化地喷射第一流体；以及第二喷嘴，喷射第二流体。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种基板处理设备，包括：壳体，提供执行工艺的空间；旋转头，支撑和旋转基板；以及喷射单元，将流体喷射在所述基板上，其中所述喷射单元包括：第一喷嘴，雾化地喷射第一流体；以及第二喷嘴，喷射第二流体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于细美事有限公司，未经细美事有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310105527.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：机器人系统及机器人
- 下一篇：基板处理装置和基板处理方法
