[发明专利]自动化离子束空闲

摘要

一种用于关闭和恢复离子束系统中的离子束的改进的方法和设备。优选实施例提供了一种用于改善对聚焦离子束源的功率控制的系统，其利用自动检测带电粒子射束系统何时空闲（即射束本身未在使用中），并且之后使射束电流自动降低至在离子柱中的任何孔径面处发生很少或不发生离子铣削的程度。优选实施例包括控制器，其可操作成在检测到带电粒子射束系统的离子源的空闲状态时修改施加到提取器电极的电压和/或降低施加到源电极的电压。

主权项

一种带电粒子射束系统，包括：聚焦离子束源，其具有：等离子体腔；射频（RF）电源，被连接到放置在所述等离子体腔外侧的RF天线以将RF能量传输到所述等离子体腔中来通过激励所述腔中的气体来创建等离子体；气体源，被连接到所述等离子体腔以用于将气体供应到所述等离子体腔；源电极，用于将所述等离子体电偏置到高压；以及提取器电极，用于从所述等离子体提取离子；离子柱，其包括用于将来自聚焦离子束源的带电粒子聚焦到样本上的一个或多个聚焦透镜；以及系统控制器，用于：检测带电粒子射束系统的空闲状态；以及响应于检测所述空闲状态，通过继续将RF能量传输到所述等离子体腔中来维持所述等离子体腔中的等离子体，以及在已经检测到空闲状态时修改施加到源电极和/或提取器电极的电压以防止离子沿所述柱向下通过。