[发明专利]一种用于低温超声阳极键合装置中的硅片夹持器无效
| 申请号： | 201310100530.9 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103193199A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘曰涛;肖春雷;王伟;杨明坤;魏修亭 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255086 山东省淄博*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种用于硅片与玻璃片的低温超声阳极键合的硅片夹持器，所述硅片夹持器由变幅杆连接块，绝缘垫片，高压气体接头，真空吸附接头，高压电接片，硅片夹持腔体，第三预紧螺钉，第三预紧片，第三预紧弹簧，第三夹持片，真空吸附口，第四预紧螺钉，第四预紧片，第四预紧弹簧，第四夹持片，高压气体通道，真空吸附通道组成，本发明的硅片夹持器结构简单，在保证了硅片的夹持强度的同时，可以多方位地调整夹持力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 低温 超声 阳极 装置 中的 硅片 夹持 | ||
【主权项】：
一种用于硅片与玻璃片的低温超声阳极键合的硅片夹持器，所述硅片夹持器(5)由变幅杆连接块(5‑1)，绝缘垫片(5‑2)，高压气体接头(5‑3)，真空吸附接头(5‑4)，高压电接片(5‑5)，硅片夹持腔体(5‑6)，第三预紧螺钉(5‑7)，第三预紧片(5‑8)，第三预紧弹簧(5‑9)，第三夹持片(5‑10)，真空吸附口(5‑11)，第四预紧螺钉(5‑12)，第四预紧片(5‑13)，第四预紧弹簧(5‑14)，第四夹持片(5‑15)，高压气体通道(5‑16)，真空吸附通道(5‑17)组成，第三夹持片(5‑10)通过第三预紧弹簧(5‑9)与第三预紧片(5‑8)相连，第三预紧螺钉(5‑7)顶住第三预紧片(5‑8)，第四夹持片(5‑15)通过第四预紧弹簧(5‑14)与第四预紧片(5‑13)相连，第四预紧螺钉(5‑12)顶住第四预紧片(5‑13)，高压气体接头(5‑3)接通高压气体，高压气体通过高压气体通道(5‑16)推动硅片夹持器(5)上的第三夹持片(5‑10)和第四夹持片(5‑15)张开一定距离，真空吸附接头(5‑4)接通真空泵，通过真空吸附通道(5‑17)将硅片吸附在硅片夹持器(5)上，绝缘垫片(5‑2)设置在变幅杆连接块(5‑1)和高压电接片(5‑5)之间，变幅杆连接块(5‑1)与超声变幅杆(6)相连，高压电接片(5‑5)接直流电源(13)。
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