[发明专利]一种用于揭示碲锌镉晶体各类缺陷的腐蚀液无效
| 申请号： | 201310100370.8 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103217328A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 盛锋锋;杨建荣;孙士文;周昌鹤;虞慧娴;徐超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;G01N21/95 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于揭示碲锌镉晶体各类缺陷的腐蚀液，它由HNO3、HF、H2O2和H2O构成，以体积百分数计：混合液中质量浓度为70±1%的HNO3含有20%～25%，质量浓度为40%的HF含有20%～25%，质量浓度为30%的H2O2含有20%～25%，其余体积由H2O补足，组分之和为HNO3+HF+H2O2+H2O=100%。本发明的特点在于：能直接在碲锌镉晶体表面揭示各类缺陷，便于快速检测各类缺陷，并能形成区别显著的位错腐蚀坑和沉淀物腐蚀坑，所形成的沉淀物腐蚀坑的特征形貌尺寸比沉淀物本身的尺寸要大出数倍，适合于检测较小尺寸的沉淀物缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 揭示 碲锌镉 晶体 各类 缺陷 腐蚀 | ||
【主权项】：
一种用于揭示碲锌镉晶体各类缺陷的腐蚀液，它由HNO3、HF、H2O2和H2O构成，其特征在于：以体积百分数计，混合液中质量浓度为70±1%的HNO3含有20%～25%，质量浓度为40%的HF含有20%～25%，质量浓度为30%的H2O2含有20%～25%，其余体积由H2O补足，组分之和为：HNO3+HF+H2O2+H2O=100%。
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