[发明专利]测量金属氧化层高温光学常数的方法有效
| 申请号： | 201310095119.7 | 申请日： | 2013-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN103217387A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 符泰然;刘江帆;宗安州;汤龙生;周金帅;邓兴凯 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量金属氧化层高温光学常数的方法，包括如下步骤：S1、提供多份氧化金属样品，分别测量每份氧化金属样品的金属氧化层的厚度；S2、采用真空变角度高温光谱发射率测量实验台，在真空环境下，分别对每份氧化金属样品进行至少两种不同探测方向角的定向光谱发射率测量；S3、基于辐射传递原理，建立氧化金属样品定向光谱发射率与探测方向角、氧化层厚度、氧化层光学常数及金属基底辐射特性的数学关系式；S4、基于所述数学关系式，通过不同探测方向角、不同厚度金属氧化层的氧化金属样品的定向光谱发射率测量数据，构造计算方程组，求解金属氧化层的高温光学常数。本发明可实现500℃以上高温氧化层光学常数测量。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 金属 氧化 高温 光学 常数 方法 | ||
【主权项】：
一种测量金属氧化层高温光学常数的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：S1、提供多份氧化金属样品，多份氧化金属样品至少具有两种不同的金属氧化层厚度，分别测量每份氧化金属样品的金属氧化层的厚度；S2、采用真空变角度高温光谱发射率测量实验台，在真空环境下，分别对每份氧化金属样品进行至少两种不同探测方向角的定向光谱发射率测量；S3、基于辐射传递原理，建立氧化金属样品定向光谱发射率与探测方向角、氧化层厚度、氧化层光学常数及金属基底辐射特性的数学关系式；S4、基于所述数学关系式，通过不同探测方向角、不同厚度金属氧化层的氧化金属样品的定向光谱发射率测量数据，构造计算方程组，采用最小二乘法计算求解金属氧化层的高温光学常数。
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