[发明专利]一种微机械差分电容式压力计

摘要

本发明公开了一种微机械差分电容式压力计。该压力计的两个电容由三个电容极板组成：由玻璃片或硅片上淀积金属形成的上极板，重掺杂的硅形成的下级板，与敏感压力的膜片部分相连的单晶硅或多晶硅形成的中间可动极板。本压力计基于压力计结构中基本的硅杯结构，当压力作用于敏感膜片时，膜片变形，连接在敏感膜片上的中间极板也随之变形，从而使得上下两个电容的电容值发生变化，形成差动的信号输出。该压力计的制备工艺简单，可利用差动结构的优点，实现对压力的差动检测。

主权项

一种微机械差分电容压力计，其特征自下而上包括：感应压力的硅杯结构(其中包含敏感膜片)，与敏感膜片通过绝缘支柱连接，其余部分悬空的中间可动极板，以及上电极盖板，其特征在于： 硅杯结构中的膜片会因压力的作用而产生形变，连接于敏感膜片和中间极板的绝缘支柱随之变动，带动中间极板的移动，由下极板和中间极板构成的下电容与由中间极板和上极板构成的上电容的两个电容值分别发生变化，形成差动结构； 下极板由低电阻硅组成，包括膜片区域和膜片区域以外的与中间极板相对的部分，下极板的引出通过与低电阻硅形成欧姆接触的金属压焊电极引出； 中间极板由低电阻单晶硅或低电阻多晶硅组成，中间极板的引出通过与低电阻单晶硅或低电阻多晶硅形成欧姆接触的金属压焊电极引出； 上极板可由玻璃材料组成，玻璃材料本身绝缘不导电，在玻璃上淀积金属作为上电极，玻璃与硅杯阳极键合在一起，或者由硅片组成，上极板硅片与下极板硅通过绝缘介质键合在一起。