[发明专利]正向冲液的微细电铸装置及其微细电铸方法无效
| 申请号： | 201310088800.9 | 申请日： | 2013-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103147099A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 李寒松;成杰;曲宁松 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00;C25D1/10 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种正向冲液的微细电铸装置及其微细电铸方法，属于电化学加工技术领域。本发明通过光刻工艺和电铸过程双重控制，提高电铸微结构侧壁垂直度；合理选择控制曝光参数，使光刻后胶模形成预设的正角结构；化学本发明的方法及装置对提高微结构侧壁垂直度以及合理控制电铸过程并得到高质量的电铸结构表面有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 正向 微细 电铸 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种正向冲液的微细电铸装置，包括电沉积系统、加热温控系统（1）、电解液循环系统，其中电沉积系统包括电铸槽（2）、直流电源（3）、阳极（8）、阴极基片（12）、微结构胶模（13）； 其特征在于： 上述电解液循环系统包括正向冲液机构；该机构包括冲液泵（6）、阳极垫（7）、阳极垫板（9）、调节垫片（10）、阴极垫板（11）； 其中阳极垫板（9）安装于阳极垫（7）下方，阳极垫板（9）和阳极垫（7）形成阳极夹具，所述阳极（8）安装于阳极垫板（9）和阳极垫（7）之间，阳极垫（7）具有与冲液泵（6）相连的进液孔（14），阳极垫板（9）具有均匀分布的阳极流道（15）；其中阴极基片（12）固定于阴极垫板（11）上，阴极基片（12）上具有微结构胶模（13）；该微结构胶模的结构正角角度![]()
为88°±0.50°；阴极垫板（11）上具有阴极流道（16）；其中调节垫片（10）安装于阳极夹具和阴极垫板（11）中间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京航空航天大学，未经南京航空航天大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310088800.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
