[发明专利]一种点衍射三维绝对位移无导轨测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种点衍射三维绝对位移无导轨测量装置及方法。线偏振激光器的线偏振光经第一个二分之一波片后，被偏振分光棱镜分成反射光和透射光两部分。反射光被安装于移相器上的反射镜反射前后共两次经过四分之一波片，并透过偏振分光棱镜，经光纤耦合器耦合到一根单模光纤上；透射光通过第二个二分之一波片后，经光纤耦合器耦合到另一根单模光纤上。将两根光纤的末端集成于一个点衍射光纤探头并安装在发生位移的被测目标上，可用探测器实时采集干涉图。根据所得干涉场相位分布，组成非线性超定方程组，运用高斯牛顿迭代算法重构出被测目标的三维绝对位移。本发明易集成且无需导轨，为点衍射三维绝对位移无导轨的高精度测量提供了可行方法。

主权项

一种点衍射三维绝对位移无导轨测量装置，其特征在于，它包括线偏振激光器(1)、第一个二分之一波片(2)、偏振分光棱镜(3)、第二个二分之一波片(4)、第一个光纤耦合器(5)、第一根单模光纤(6)、点衍射光纤探头(7)、四分之一波片(8)、反射镜(9)、PZT移相器(10)、第二个光纤耦合器(11)、第二根单模光纤(12)、CCD光电探测器(13)和计算机(14)；线偏振激光器(1)、第一个二分之一波片(2)、偏振分光棱镜(3)、第二个二分之一波片(4)、第一个光纤耦合器(5)、第一根单模光纤(6)、点衍射光纤探头(7)、CCD光电探测器(13)、计算机(14)顺次相连；线偏振激光器(1)、第一个二分之一波片(2)、偏振分光棱镜(3)、四分之一波片(8)、反射镜(9)、PZT移相器(10)、第二个光纤耦合器(11)、第二根单模光纤(12)、点衍射光纤探头(7)、CCD光电探测器(13)、计算机(14)顺次相连。