[发明专利]周期阵列的局域等离子体共振传感器有效
| 申请号： | 201310082710.9 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN103163104A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 宋国峰;刘杰涛;许斌宗;胡海峰;王立娜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种周期阵列的局域等离子体共振传感器，包括：一衬底；多个传感器单元，其排布在衬底的表面，组成周期阵列结构。本发明，具有传感高灵敏度，窄共振线宽，高信号调制深度，大范围探测角度容忍度的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 周期 阵列 局域 等离子体 共振 传感器 | ||
【主权项】：
一种周期阵列的局域等离子体共振传感器，包括：一衬底；多个传感器单元，其排布在衬底的表面，组成周期阵列结构。
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