[发明专利]同时测量双折射元件厚度及折射率的测量方法

摘要

本发明提供一种同时测量双折射元件厚度及折射率的测量方法，包括以下步骤：半外腔激光器连续输出激光，模式为单纵模；调整偏振片的偏振方向与所述半外腔激光器输出激光的偏振方向垂直；将双折射元件设置于所述输出腔镜与所述外腔平面反射镜之间，并使双折射元件的光轴方向与所述激光的初始偏振方向一致；将双折射元件以垂直于光轴的轴线为轴旋转一定角度θ1，驱动所述外腔平面反射镜沿半外腔激光器输出激光的轴线往复运动，得到θ1角度下产生的位相延迟δ1的大小；继续沿双折射元件慢轴方向旋转双折射元件，得到多个角度θ1、θ2、θ3…θn及相应的位相延迟δ1、δ2、δ3…δn的大小，n≥4，获得所述双折射元件的折射率及厚度。

主权项

1.一种同时测量双折射元件厚度及折射率的测量方法，包括以下步骤：步骤S10，提供一测量装置，其包括一半外腔激光器，所述半外腔激光器包括一高反腔镜、增益管、增透窗片以及输出腔镜沿半外腔激光器的输出激光轴线共轴设置；一外腔平面反射镜与所述输出腔镜间隔设置形成一激光回馈外腔；以及一第一光电探测器和一偏振片沿从所述输出腔镜输出激光的光路依次间隔设置，所述第一光电探测器设置于所述从高反腔镜输出的激光的光路上，用于测量所述从高反腔镜输出的激光的强度变化；步骤S11，半外腔激光器连续输出激光，模式为单纵模；步骤S12，调整所述偏振片，使所述偏振片的偏振方向与所述半外腔激光器输出激光的偏振方向垂直；步骤S13，将待测双折射元件设置于所述输出腔镜与所述外腔平面反射镜之间，并使所述双折射元件的光轴与所述激光的初始偏振方向一致；步骤S14，将所述双折射元件以垂直于光轴方向的轴线为轴旋转角度θ₁，驱动所述外腔平面反射镜沿半外腔激光器输出激光的轴线往复运动产生激光偏振跳变，通过偏振跳变点获得在角度θ₁下产生的位相延迟δ₁的大小；步骤S15，以所述垂直于光轴方向的轴线旋转所述双折射元件多个角度θ₂、θ₃……θ_n，获得相应的位相延迟δ₂、δ₃……δ_n的大小，其中，n≥4，通过以下公式获得所述待测双折射元件的厚度及折射率：，其中，d为双折射元件的厚度，n_e、n_o为双折射元件对e光和o光的折射率，θ为双折射元件旋转的角度，N为双折射元件的级数，λ为半外腔激光器输出激光的波长。