[发明专利]一种石墨烯铜线生产装置

摘要

本发明涉及铜导线生产技术领域，公开了一种石墨烯铜线生产装置。包括化学气相沉积炉，其特征在于，所述化学气相沉积炉包括方形炉体及设于所述炉体内的方形沉积室，在所述炉底与室底之间，所述炉壁与室壁之间分别设有加热板；所述沉积室内竖直设有两个辊筒，所述辊筒外圆上设有螺旋过线槽；所述炉体的底部设有与所述沉积室相通的进气口，所述炉体的顶部设有与所述沉积室相通的出气口；所述炉体的一侧设有与所述沉积室连通的进线孔，所述炉体的另一侧设有与所述沉积室连通的出线孔。本发明的有益效果在于，解决了由于沉积时间过长而导致本工序难于连续生产的困难，同时也保证了化学沉积效果和产品质量。

主权项

一种石墨烯铜线生产装置，包括化学气相沉积炉，其特征在于，所述化学气相沉积炉包括方形炉体及设于所述炉体内的方形沉积室，所述炉体包括炉底、炉壁及炉盖，所述沉积室包括室底、室壁及室盖，在所述炉底与室底之间，所述炉壁与室壁之间分别设有加热板；所述沉积室内竖直设有两个辊筒，所述辊筒外圆上设有螺旋过线槽；所述炉体的底部设有与所述沉积室相通的进气口，所述炉体的顶部设有与所述沉积室相通的出气口；所述炉体的一侧设有与所述沉积室连通的进线孔，所述炉体的另一侧设有与所述沉积室连通的出线孔。