[发明专利]大风量低浓度等离子体废气处理装置

摘要

一种大风量低浓度等离子体废气处理装置，包括等离子壳体，其上设进、出气口，其内腔至少一横截面内安装若干等离子体发生器，同一横截面的等离子体发生器间相互连接，等离子体发生器垂直进气口，等离子体发生器包括绝缘基座，基座前、后面连接气流均布栅，基座内腔左、右板间由上至下垂直连接若干层电极丝和若干个电极板，各电极板间及其与各层电极丝间相互平行，各电极板与各层电极丝交错设置，各电极板与相邻电极丝间距相等，各层电极丝均匀、间隔设置，各电极板、电极丝分别连接引出线，二者引出线分别与高压交流电源的接地端和高压端连接。本发明可获得较高气体处理流量，并能维持高密度大面积等离子体，使放电处于稳定状态，提高处理效率。

主权项

一种大风量低浓度等离子体废气处理装置，其特征在于：包括等离子壳体(1)，所述等离子壳体(1)上设有进、出气口(2，3)，位于进、出气口(2，3)之间的等离子壳体(1)内腔的至少一个横截面内安装有若干个等离子体发生器(4)，位于同一横截面的各等离子体发生器(4)之间沿外缘相互连接且填满该横截面，所述等离子体发生器(4)垂直于等离子壳体(1)的进气口(2)，所述等离子体发生器(4)包括矩形框架基座(5)，所述基座(5)由绝缘材料制成，所述基座(5)的前、后面分别连接有气流均布栅(18)，所述气流均布栅(18)上均布有栅孔，所述基座(5)的内腔左、右板之间由上至下垂直连接有若干层电极丝(6)和若干个电极板(7)，各所述电极板(7)之间及各电极板(7)与各层电极丝(6)之间相互平行，各电极板(7)与各层电极丝(6)交错设置，各所述电极板(7)与其相邻层的电极丝(6)之间间距相等，位于同一层的电极丝(7)呈均匀、间隔设置，各所述电极板(7)分别连接电极板引出线(8)，各所述电极板(7)的外表面分别设有耐高温的绝缘介质层(9)，各所述电极板引出线(8)分别穿出绝缘介质层(9)和基座(5)后与高压交流电源(12)的接地端连接，各所述电极板引出线(8)穿过基座(5)的部分的外表面均套有绝缘固定导套(10)，各电极丝(6)的一端分别连接电极丝引出线(11)，各电极丝引出线(11)穿过基座(5)后与高压交流电源(12)的高压端连接。