[发明专利]热处理装置有效
| 申请号： | 201310057869.5 | 申请日： | 2013-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN103302009A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 宫岛勇也 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04;B05C13/00 |
| 代理公司： | 北京天悦专利代理事务所(普通合伙) 11311 | 代理人： | 吴京顺;任晓航 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种热处理装置，在进行热处理时能够抑制涂布膜上形成干燥不匀，该热处理装置包括：多个振动板部（2），在搬运基板（W）的方向上并排排列；超声波发生部（4），向各振动板部（2）施加超声波振动；温度控制部（3），将规定的振动板部（2）温度控制在规定的温度，并且，对基板（W）以超声波振动悬浮来搬运的同时给基板（W）实施热处理，其中，部分或者全部振动板部（2）之间进一步配置有通过气体的喷射来使基板（W）悬浮的气体悬浮部（6）。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 装置 | ||
【主权项】：
一种热处理装置，包括：多个振动板部，在搬运基板的方向上并排排列；超声波发生部，向各所述振动板部施加超声波振动；温度控制部，将规定的所述振动板部温度控制在规定的温度，其中，对基板以超声波振动悬浮来搬运的同时，给基板实施热处理，其特征在于，部分或者全部所述振动板部之间进一步配置有通过气体的喷射来使基板悬浮的气体悬浮部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东丽工程株式会社，未经东丽工程株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310057869.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有更高刚度重量比的涡轮机叶片
- 下一篇：一种小便处理装置及方法
