[发明专利]一种集成电路互连线寄生电容的建模方法有效
| 申请号： | 201310057370.4 | 申请日： | 2013-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN103164572A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 屈慧;徐小宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于集成电路互连线寄生电容的建模方法。所述的建模方法为：针对一个给定互连线结构，用有限元法求其寄生电容的一阶、二阶敏感度，建立对应的二阶寄生电容基础表达式，并用该表达式计算设计尺寸参数有效范围内若干计算点的寄生电容初值，再用有限元场求解器直接算出这些计算点的寄生电容值，把相同点的这两个电容值相减，得到一系列误差值，用这些误差值拟合出一个误差修正表达式，把此误差修正表达式叠加到之前得到的二阶寄生电容基础表达式上，最终得到该互连线结构更为精确的寄生电容表达式。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 互连 寄生 电容 建模 方法 | ||
【主权项】：
一种集成电路互连线寄生电容的建模方法，其特征在于，所述的建模方法为：针对一个给定的互连线结构，用有限元法求所述互连线结构的寄生电容的一阶、二阶敏感度，建立对应的二阶寄生电容基础表达式，并用所述的二阶寄生电容基础表达式计算设计尺寸参数有效范围内若干计算点的寄生电容初值，再用有限元场求解器直接计算出所述计算点的寄生电容值，把两次计算得到的相同计算点的两个电容值相减，得到相应的误差值，用所述的误差值拟合出误差修正表达式，把所述的误差修正表达式叠加到所述的二阶寄生电容基础表达式上，得到该互连线结构最终的寄生电容表达式。
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