[发明专利]优化TCO太阳能电池膜中的电阻和透明度的方法和装置

摘要

本发明提供用于在制造工具的一个室中沉积TCO(透明导电氧化物)膜，然后在同一工具的另一室中用光能量照射TCO膜的方法和系统。在一些实施例中，在太阳能电池中使用TCO膜并且在太阳能电池基板上形成TCO膜。该方法包括以一定时间和能量照射TCO膜，以降低TCO膜的电阻而没有降低透明度。在光照射室中使用一个或多个光源。独立地或共同地使用红外光范围、可见光范围和紫外光范围内的光。本发明还提供了优化TCO太阳能电池膜中的电阻和透明度的方法和装置。

主权项

一种形成太阳能电池的方法，所述方法包括：提供太阳能电池基板；在多室制造装置的第一室中的所述太阳能电池基板上沉积至少一种膜，其中，所述沉积至少一种膜包括透明导电氧化物膜；以及在所述多室制造装置的第二室中将上面具有所述至少一种膜的所述太阳能电池基板暴露在光能量中，其中，所述光能量的光的范围是从红光到近红外光或者是从蓝光到紫外光。