[发明专利]用于在其加工过程中传送太阳能晶圆或太阳电池的装置有效
| 申请号： | 201310049196.9 | 申请日： | 2013-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN103258767A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 陈联福;屠文革 | 申请（专利权）人： | 先进科技新加坡有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 新加坡2*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于传送太阳能晶圆或电池的装置，该装置包含有：i）旋转马达；ii）夹具，用于通过夹持该太阳能晶圆或电池；以及旋转臂，其连接在旋转马达和夹具之间，该旋转臂被旋转马达在第一旋转方向上驱动一传送角度，以在不同的位置之间传送该太阳能晶圆或电池；尤其是该装置还包含有角度补偿设备，其被配置来驱动该夹具在第二旋转方向上旋转通过与旋转臂相同的传送角度，该第二旋转方向和第一旋转方向相反，以在旋转臂的旋转期间确保太阳能晶圆或电池的角度方位保持不变。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 过程 传送 太阳能 太阳电池 装置 | ||
【主权项】：
一种用于传送太阳能晶圆或电池的装置，该装置包含有：旋转马达；夹具，其被配置来夹持该太阳能晶圆或电池；以及旋转臂，其连接在旋转马达和夹具之间，该旋转臂被旋转马达在第一旋转方向上驱动通过一传送角度，以在不同的位置之间传送该太阳能晶圆或电池；以及角度补偿设备，其被配置来驱动该夹具在第二旋转方向上旋转通过与旋转臂相同的传送角度，该第二旋转方向和第一旋转方向相反，以致于在旋转臂的旋转期间太阳能晶圆或电池的角度方位保持不变。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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