[发明专利]一种双柔性自适应抛光磨头有效
申请号: | 201310034268.2 | 申请日: | 2013-01-29 |
公开(公告)号: | CN103072077A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 张健;代雷;马占龙;王立鹏;谷勇强;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | B24B41/04 | 分类号: | B24B41/04 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 南小平 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明的一种双柔性自适应抛光磨头属于光学冷加工技术领域,目的在于解决现有技术中存在的抛光磨头表面与工件表面不匹配的问题,提高抛光质量。包括抛光主轴、连接法兰、弹簧、紧固螺栓、刚性基底、柔性层、刚性层和抛光层;所述抛光主轴与所述连接法兰实现滑动连接,连接法兰和刚性基底之间通过紧固螺栓实现紧密连接,所述抛光主轴、连接法兰和刚性基底同轴,所述弹簧位于连接法兰内部,并位于所述抛光主轴与所述刚性基底之间,所述刚性基底下方依次排列有柔性层、刚性层和抛光层。通过弹簧的弹性变形,自动补偿由于机床、装调或工件本身带来的误差,实现非球面元件的高精度面形加工。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 自适应 抛光 | ||
【主权项】:
一种双柔性自适应抛光磨头,其特征在于,包括抛光主轴(1)、连接法兰(2)、弹簧(3)、刚性基底(5)、柔性层(6)、刚性层(7)和抛光层(8);所述连接法兰(2)和刚性基底(5)固定连接,所述抛光主轴(1)、连接法兰(2)和刚性基底(5)同轴,所述弹簧(3)以预紧力位于所述抛光主轴(1)与所述刚性基底(5)之间,所述抛光主轴(1)与所述连接法兰(2)实现上下的相对滑动,所述刚性基底(5)下方依次排列有柔性层(6)、刚性层(7)和抛光层(8),所述柔性层(6)可以产生柔性变形;所述刚性层(7)可以产生刚性变形,所述柔性层(6)和刚性层(7)共同产生变形使抛光层(8)与非球面工件表面实现紧密匹配。
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