[发明专利]表面检查方法和表面检查装置有效
| 申请号： | 201310027591.7 | 申请日： | 2013-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN103226108A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 初田元伸;清水英仁 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;杨光军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种表面检查方法，对具有镜面状的表面（H）的被检查物的表面（H）进行检查，该表面检查方法包括：对被检查物的表面（H）从倾斜方向照射光（L）的步骤；测定在被检查物的表面（H）正反射的光之中的、由于异物（K）的附着而衍射的衍射光（D）的强度的步骤；测定由于异物（K）的附着而漫反射的散射光（S）的强度的步骤；和基于正反射的衍射光（D）的强度和漫反射的散射光（S）的强度的测定结果，判别被检查物的表面（H）的异物（K）的附着状态的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种表面检查方法，是对具有镜面状的表面的被检查物的表面进行检查的表面检查方法，其特征在于，包括：对所述被检查物的表面从倾斜方向照射光的步骤；测定在所述被检查物的表面正反射的光之中的、由于异物的附着而衍射的衍射光的强度的步骤；测定由于所述异物的附着而漫反射的散射光的强度的步骤；和基于所述正反射的衍射光的强度和所述漫反射的散射光的强度的测定结果，判别所述被检查物的表面的异物的附着状态的步骤。
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