[发明专利]一种CZ法蓝宝石长晶锥形尾部长度的控制方法有效
| 申请号： | 201310026248.0 | 申请日： | 2013-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN103060900A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 蔡建华;段金柱;马劲松;樊志远;徐秋峰;段斌斌;王勤峰 | 申请（专利权）人： | 天通控股股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/20 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 吴关炳 |
| 地址： | 314412 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种CZ法蓝宝石长晶锥形尾部长度的控制方法。采用CZ法长晶设备，利用铱坩埚装料；以高频线圈作为发热源，以氧化锆和氧化铝为主要保温材料；在晶体放肩时控制肩部的高度为等径部直径的1/4~1/2和/或在晶体生长全过程采用氩气作为保护气体且在等径生长阶段控制炉内的氧浓度在500~6000ppm。可防止过早的固液分离，晶体的下部凸出部分长度即尾部锥形的长度可以明显减小，最大可以减小60mm，即可以每次增加对应的产能，从而有效提升生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cz 蓝宝石 锥形 尾部 长度 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种CZ法蓝宝石长晶锥形尾部长度的控制方法，采用CZ法长晶设备，利用铱坩埚装料；其特征在于，以高频线圈作为发热源，以氧化锆和氧化铝为主要保温材料；并且，在晶体放肩时控制肩部的高度为等径部直径的1/4~1/2，和/或在晶体生长全过程采用氩气作为保护气体且在等径生长阶段控制炉内的氧浓度在500~6000ppm。
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