[发明专利]一种冷泵的加热系统有效
申请号: | 201310025739.3 | 申请日: | 2013-01-21 |
公开(公告)号: | CN103939316A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 刘菲菲 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | F04B39/06 | 分类号: | F04B39/06 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 张大威 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提出一种冷泵的加热系统,包括:设置在冷泵外壁上的加热腔室,加热腔室具有进风口和出风口;风扇,所述风扇设在加热腔室内且靠近进风口;加热装置,加热装置设在加热腔室内且在从进风口朝向出风口的进风方向上位于风扇的下游侧;供电装置,供电装置与风扇和加热装置相连,用于为风扇和加热装置供电;加热控制器,加热控制器与供电装置相连,用于在接收到加热指令后控制供电装置对风扇和加热装置供电以使风扇和加热装置运行。本发明的加热系统对冷泵进行加热,避免冷泵外表面凝露,抑制了冷泵结露,且防止凝结水滴对冷泵系统中其它电控元件造成烧毁和损害,从而降低设备的损失,提高设备的可靠性且有效保证设备的正常运行。 | ||
搜索关键词: | 一种 加热 系统 | ||
【主权项】:
一种冷泵的加热系统,其特征在于,包括:设置在所述冷泵外壁上的加热腔室,所述加热腔室具有进风口和出风口;风扇,所述风扇设在所述加热腔室内且靠近所述进风口;加热装置,所述加热装置设在所述加热腔室内且在从所述进风口朝向所述出风口的进风方向上位于所述风扇的下游侧;供电装置,所述供电装置与所述风扇和所述加热装置相连,用于为所述风扇和所述加热装置供电;以及加热控制器,所述加热控制器与所述供电装置相连,用于在接收到加热指令后控制所述供电装置对所述风扇和加热装置供电以使所述风扇和所述加热装置运行。
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