[发明专利]单片压电换能器及其制作方法

摘要

本发明提供一种单片压电换能器及其制作方法。该换能器包括呈圆形或正多边形的压电片，压电片的上、下表面第一叉指电极和第三叉指电极，压电片上、下表面还分别设置有第二叉指电极和第四叉指电极，且至少两个第二分电极和第四分电极在压电片的上表面和下表面分别与至少两个第一分电极和第三分电极交错设置；压电片在施加在第一叉指电极和第二叉指电极，以及第三叉指电极和第四叉指电极之间的直流电压作用下，在压电片上、下表面压电层分别形成交叉极化区域。本发明提供的压电换能器结构简单，实现方便，可作为压电弯曲运动驱动器使用，或反之可作为传感器，感应声波、压力、振动、等产生的弯振动或弯位移，且可在高低温恶劣环境下工作。

主权项

一种单片压电换能器，其特征在于，包括：呈圆形或正多边形的压电片，所述压电片的上表面和下表面分别设置有第一叉指电极和第三叉指电极，所述第一叉指电极和第三叉指电极上下对称设置，所述第一叉指电极具有至少两个第一分电极，所述第三叉指电极具有至少两个第三分电极；所述压电片的上表面和下表面还分别设置有上下对称设置的第二叉指电极和第四叉指电极，所述第二叉指电极和第四叉指电极分别具有至少两个第二分电极和第四分电极，每个第一分电极、每个第二分电极、每个第三分电极和每个第四分电极关于所述压电片的中心轴呈中心对称，且所述至少两个第二分电极和第四分电极在所述压电片的上表面和下表面分别与所述至少两个第一分电极和第三分电极交错设置；所述压电片分别通过施加在所述第一叉指电极和第二叉指电极之间，以及第三叉指电极和第四叉指电极之间的直流电压作用下，在所述压电片的上表面压电层和下表面压电层分别形成交叉极化区域。