[发明专利]一种管状零件内孔涂层的制备方法

摘要

本发明涉及一种管状零件内孔涂层的制备方法，安装管状零件于包括有导气作用的辅助电极、TiCl4储液罐及管状零件夹持夹具的沉积涂层装置中，然后装入真空室内抽真空，通入氩气Ar，开启偏压电源辉光清洗管状零件，通入氢气H2、四氯化钛TiCl4、氮气N2、三氯化硼BCl3反应气体，交替切换N2和BCl3的通入实现TiN和TiB2的沉积；本发明通过管状零件沉积涂层装置解决空间有限导致鞘层重叠、离子能量低、涂层结合力不好的问题，解决外部扩散进入的等离子体快速耗尽，密度低，轴向不均匀的问题，提高管内等离子体的密度和均匀性，实现高效和轴向均匀沉积。

主权项

一种管状零件内孔涂层的制备方法，其特征在于：抽真空保持真空度1.0×10^‑2Pa～2.0×10^‑2Pa，通入氩气Ar，调整真空度维持在6×10^‑2Pa ~ 8×10^‑2Pa，开启偏压电源辉光清洗工件5 min ~10min，同时加热真空室温度至300～450℃，关闭氩气和偏压电源；通入一组反应气体，调整真空度维持在1000~1600Pa，开启偏压电源，沉积涂层TiN 30min～120min，关闭偏压电源，停止通入所述一组反应气体，通入氩气Ar 清洗管路5min～10min；再通入另一组反应气体，开启偏压电源，沉积涂层TiB₂ 150 min～300 min；其中所述一组反应气体为氮气N2、氢气H2、四氯化钛TiCl4，另一组反应气体为三氯化硼BCl3、氢气H2、四氯化钛TiCl4；所述氩气Ar、氢气H2、三氯化硼BCl3、氮气N2的气体流量分别是Ar:80～100 sccm，H2:1400～1600 sccm，BCl3:450～520 sccm，N2:200～300 sccm；所述直流脉冲电源偏压：700～1000V，电流：1～1.2A，占空比：40%~60％，频率：40KHz。