[发明专利]一种具有薄膜多腔结构的可调谐光纤传感器

摘要

本发明提供一种具有薄膜多腔结构的可调谐光纤传感器，其特征是：该传感器分为测试腔和补偿腔，其中处于两腔体之间的悬膜用于反射光波从而感应压力变化，可以用于测试压力和温度；通过调节补偿腔的压强给悬膜施加预应变，从而调节传感器的测试范围；当两腔的压力相等或相近时，温度变化会导致两个腔体的气压同时改变，因此作用在悬膜两侧由温度引起的压力变化可以被抵消，从而降低温度对压力测试的影响；当两腔的压力差较大或一个腔的压力保持恒定，作用在悬膜两侧由温度引起的压力变化无法被完全抵消，此时传感器可以用于测试温度变化；此外，当腔体材料和悬膜材料的热膨胀系数有差别时，温度变化也会导致悬膜变形，从而感应温度变化。

主权项

一种具有薄膜多腔结构的可调谐光纤传感器，其特征是：该传感器分为测试腔和补偿腔，其中处于两个腔体之间的悬膜用于反射光纤器件的光波从而感应压力变化，可以用于测试压力和温度。