[发明专利]一种石墨烯电容式触摸屏金属电极的精细图案化方法无效
| 申请号： | 201310012672.X | 申请日： | 2013-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN103064574A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘志斌;赵斌;黄海东;陈凯 | 申请（专利权）人： | 无锡力合光电石墨烯应用研发中心有限公司;无锡力合光电传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/044 | 分类号： | G06F3/044;G02F1/133;C23C28/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 214174 江苏省无锡市惠山区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种石墨烯电容式触摸屏金属电极的精细图案化方法，所述方法是以转移有石墨烯的基板为对象，在沉积金属膜层的过程中，用感光胶保护触摸屏的视窗触控区，最后去除感光胶进行触摸屏的整板图案化。本发明提供的方法有利于图案化金属电极膜层的工业化大规模生产加工；设备转化成本小；同时，提高了金属电极层与石墨烯层的蚀刻速度，规避黄光精细蚀刻过程，可以大幅度简化制程，节约成本，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 电容 触摸屏 金属电极 精细 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨烯电容式触摸屏金属电极的精细图案化方法，其特征在于，所述方法是以转移有石墨烯的基板为对象，在沉积金属膜层的过程中，用感光胶保护触摸屏的视窗触控区，最后去除感光胶进行触摸屏的整板图案化。
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