[发明专利]一种影像传感器的制造方法

摘要

本发明涉及一种影像传感器的制造方法，包括器件晶圆平整度研磨，器件晶圆的键合，器件晶圆背面减薄，器件晶圆背面表面研磨，淀积，彩色滤光片和微透镜的安装，所述器件晶圆背面表面处理采用射频发生器发出的射频激发去耦合化等离子体氧化物产生等离子对器件晶圆背面表面进行缺陷处理，所述射频发生器的射频功率低于200瓦特。在背照式影像传感器的制造过程中，利用射频发生器发出的射频对去耦合化等离子体氧化物产生等离子对器件晶圆背面表面进行缺陷处理，减小了器件晶圆背面表面缺陷，提升了器件的性能。

主权项

一种影像传感器的制造方法，包括器件晶圆平整度研磨，器件晶圆的键合，器件晶圆背面减薄，器件晶圆背面表面研磨，器件晶圆表面高介质层淀积，彩色滤光片和微透镜的安装，其特征在于：所述器件晶圆背面表面研磨采用射频发生器发出的射频激发去耦合化等离子体氧化物产生等离子对器件晶圆背面表面进行缺陷处理，所述射频功率低于200瓦特。