[发明专利]具有P型超晶格的LED外延结构及其制备方法有效
| 申请号: | 201310003827.3 | 申请日: | 2013-01-06 |
| 公开(公告)号: | CN103050592A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
| 发明(设计)人: | 张宇 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/14;H01L33/00 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明 |
| 地址: | 423038 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种具有P型超晶格的LED外延结构及其制备方法。该外延结构包括衬底,衬底上由下至上依次设置有GaN缓冲层、未掺杂GaN层、n型GaN层、多量子阱发光层、第一P型GaN层、P型AlGaN电子阻挡层、第二P型GaN层,P型AlGaN电子阻挡层与第二P型GaN层之间设置有由PInGaN势阱层及PAlGaN势垒层周期性交互重叠构成的P型超晶格。P型超晶格中的PInGaN势阱层将产生和束缚大量空穴,形成二维空穴高密态;PAlGaN势垒层将阻碍空穴的逃逸,提高空穴的横向扩展,可以阻挡电子外溢,增加空穴注入效率,提高电子和空穴复合概率,能提高芯片的亮度5~10%。 | ||
| 搜索关键词: | 具有 晶格 led 外延 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种具有P型超晶格的LED外延结构,包括衬底,所述衬底上由下至上依次设置有GaN缓冲层、未掺杂GaN层、n型GaN层、多量子阱发光层、第一P型GaN层、P型AlGaN电子阻挡层、第二P型GaN层,其特征在于,所述P型AlGaN电子阻挡层与所述第二P型GaN层之间设置有由PInGaN势阱层及PAlGaN势垒层周期性交互重叠构成的P型超晶格。
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