[发明专利]改进铜电沉积的添加剂效果快速判定方法

摘要

本发明提供了一种改进铜电沉积的添加剂效果快速判定方法。在镀液表面水平设置一个阳极板，使镀液刚好浸没该阳极板，在阳极板下方与阳极板平行正对的硅基板浸没在镀液中，与阴极相连，所述硅基板上有一个盲孔，在盲孔的中心轴线上选取两个点，距离孔口的距离分别为1/3孔深和2/3孔深；在阳极板和阴极通电时，两点存在相对电位关系；如果镀液中加入添加剂后，两点的电势差比无任何添加剂情况下的电势差上升，则认为添加剂是有效的，可以促进孔底部的优先电沉积。采用本方法，只要在通上电流以后，根据不同位置的电位关系就可以立即直接判断添加剂的效果，无需再等到镀完以后再进行理化分析。具有简易、快速、准确等优点。

主权项

改进铜电沉积的添加剂效果快速判定方法，其特征是：在镀液表面水平设置一个阳极板，使镀液刚好浸没所述阳极板，在阳极板下方与阳极板平行正对的硅基板浸没在镀液中，与阴极相连，所述硅基板上有一个盲孔，在盲孔的中心轴线上选取两个点，第一点和第二点距离孔口的距离分别为1/3孔深和2/3孔深；在阳极板和阴极通电的时候，镀液中会产生电场，两点存在相对电位关系；当镀液中加入有效的添加剂时，添加剂会影响镀液中两点的相对电位关系，如果加入添加剂后，第一点与第二点的电势差比无任何添加剂情况下的电势差上升，则认为添加剂是有效的，可以促进孔底部的优先电沉积。