[发明专利]一种背面点接触太阳能电池的制备方法无效
申请号: | 201310002244.9 | 申请日: | 2013-01-06 |
公开(公告)号: | CN103022262A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 夏正月;高艳涛;宫昌萌;何恬;孙珠珠;宋文涛;陈同银;刘仁中;李晓强;董经兵;孟津;陶龙忠;张斌;邢国强 | 申请(专利权)人: | 奥特斯维能源(太仓)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 215434 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种背面点接触太阳能电池的制备方法,包括步骤:(1)硅片去损伤并制绒;(2)扩散;(3)背面磷硅玻璃(PSG)去除,背面抛光,正面PSG去除及清洗;(4)背面氧化铝/氮化硅叠层薄膜生长;(5)正面减反射薄膜生长;(6)背面开孔;(7)丝网印刷背银,背铝,正银;(8)烧结,测试。本发明通过改进太阳能电池的制备方法,有效降低生产成本,适于批量化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 背面 点接触 太阳能电池 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种背面点接触太阳能电池的制备方法,其特征在于:包括步骤(a)硅片(4)去损伤并制绒;(b)磷扩散;(c)背面磷硅玻璃PSG去除,背面抛光,正面PSG去除及清洗;(d)背面氧化铝/氮化硅叠层薄膜生长;(e)正面减反射薄膜生长;(f)背面开孔;(g)丝网印刷背铝,正银;(h)烧结,测试;步骤(c)所述的背面磷硅玻璃PSG去除,背面抛光,正面PSG去除及清洗的方法为采用在线滚轮式设备,单面去除PSG。
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