[发明专利]多轴微电子惯性感测器无效
| 申请号： | 201280070092.X | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN104136886A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 雅克·勒克莱克 | 申请（专利权）人： | 特罗尼克斯微系统有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712;G01P15/14 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 赵飞;郭红丽 |
| 地址： | 法国克*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种谐振器微电子惯性感测器，优选微机电系统(MEMS)感测器(例如陀螺仪)，用于检测一个以上轴的线性加速度和旋转速率，其包括：*密封质量块系统(21.1、...、21.4)，柔性地悬挂在衬底上方，用于进行绕中心轴线(24)的面内旋转振动，*驱动电极系统(D1、...、D4)，用于驱动密封质量块系统(21.1、...、21.4)进行所述面内旋转振动，以及*感测电极系统(S1、...、S4)，连接到密封质量块系统(21.1、...、21.4)，用于检测一个以上轴的线性加速或旋转速率。所述密封质量块系统(21.1,...,21.4)具有彼此柔性耦合(25.1a、25.1b)的两个以上密封质量块元件。每个密封质量块元件(21.1、21.2)直接并柔性地连接(23.1、25.1a、25.1b)到衬底(32)上的锚定结构(22)。密封质量块元件(21.1、...、21.4)优选布置在相对于中心轴线(24)的内、外径(R1、R2)之间的环形构造中。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 惯性 感测器 | ||
【主权项】：
一种谐振器微电子惯性感测器，优选微机电系统(MEMS)陀螺仪，用于检测多于一个轴的线性加速度和旋转速率，其包括：a)密封质量块系统(21.1、...、21.4)，柔性地悬挂在衬底(32)上方，用于绕中心轴线(24)进行面内旋转振动，b)其中，所述密封质量块系统(21.1,...,21.4)具有彼此柔性地耦合(25.1a、25.1b)的多于两个密封质量块元件，c)驱动电极系统(D1、...、D4)，用于驱动所述密封质量块系统(21.1、...、21.4)进行所述面内旋转振动，d)感测电极系统(S1、...、S4)，连接到所述密封质量块系统(21.1、...、21.4)，用于检测多于一个轴的线性加速度和旋转速率，其特征在于，e)每个密封质量块元件(21.1、21.2)直接并柔性地连接(23.1,25.1a,25.1b)到所述衬底(32)上的锚定结构(22)。
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