[发明专利]用于光学测量的设备及相关方法

摘要

一种用于光学测量可选地光滑的目标对象(106，206)的表面(例如，表面形状和/或相关的表面缺陷)的设置(101，201)，包括限定空心的优选弯曲的表面形状的漫射半透明照明结构(102，202，302)，被配置为至少部分地优选至少大致半球状地包围所述目标对象，所述表面进一步具有至少两个优选地大致针孔状并且可选地具有透镜的光圈(212)；若干光源(208)，光学耦合至该漫射照明结构，用于通过所述照明结构的表面照亮目标对象；至少两个成像装置(104，204)，每个成像装置被配置为通过所述至少两个光圈中的一个光圈对目标对象成像；以及控制实体(210)，被配置为指示所述若干光源形成通过所述照明结构的表面照亮目标对象的一系列预定的照明图案(即，在目标对象上投射的图像的视频序列)，指示所述至少两个成像装置获得目标对象的相对于每个照明图像的图像，并且通过利用所利用的所述图形以及所获得的图像，获得目标对象的预定的与表面相关的性能。还提出了一种相应的测量方法。

主权项

一种用于光学测量光滑目标对象(106，206)的表面的设备(101，201，601)，测量表面形状和/或相关的表面缺陷，所述设备包括：漫射半透明照明结构(102，202，302)，其限定弯曲表面形状，所述漫射半透明照明结构被配置为至少半球状地包围所述目标对象，所述照明结构的表面进一步配备有大致针孔状并且配备有透镜的至少两个光圈(212，712)，若干光源(208)，光学耦合至所述照明结构，用于通过所述照明结构的所述表面照亮所述目标对象，至少两个成像装置(104，204)，均被配置为通过所述至少两个光圈中的一个光圈对所述目标对象成像，以及控制实体(210)，被配置为指示所述若干光源通过所述照明结构的所述表面形成预定的照明图案的序列，指示均被配置为通过自身专用的光圈对所述目标对象成像的所述至少两个成像装置获得所述目标对象的相对于每个照明图案的图像，并且通过利用所利用的所述图案以及所获得的图像，获得所述目标对象的预定的与表面相关的性能，其中，所述两个光圈中的至少一者与透镜设备相关联，所述透镜设备包括多个透镜，以及其中，所述透镜设备进一步包括具有斜边的面向所述光圈的主体部，用于减少所述透镜设备的相对于所述照明结构的遮蔽效应。