[发明专利]用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及使用该硬掩模组合物形成图案的方法有效
| 申请号： | 201280065648.6 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN104024940B | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 金润俊;田桓承;赵娟振;尹龙云;李忠宪;权孝英;崔有廷 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;G03F1/38;G03F7/004;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 余刚,张英 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种由式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及使用该硬掩模组合物形成图案的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 模组 单体 包含 以及 使用 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种由下列化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体：[化学式1]其中，在化学式1中，A和A'为相同或不同的且各自独立地为取代或未取代的芳族基团，所述芳族基团包含选自下列组1中的至少一种：[组1]L为单键或取代或未取代的C1至C6亚烷基基团，以及n为范围从2至5的整数。
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