[发明专利]用于调整辐射光点大小的方法及设备有效
| 申请号： | 201280063981.3 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN104024824A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 席亚朗·约翰·派崔克·欧康纳;雪恩·希利雅德;蕾芙·萨墨菲尔德 | 申请（专利权）人： | 伊雷克托科学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/00 | 分类号： | G01N1/00;G01N27/64;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种设备，其可包括：一第一光束裁剪机，其经组态以裁剪具有一第一光点大小的一辐射脉冲的一部分以形成一中间经裁剪辐射脉冲，该中间经裁剪辐射脉冲具有一中间经裁剪光点，该中间经裁剪光点具有小于该第一光点大小的一中间经裁剪光点大小；及一第二光束裁剪机，其经组态以裁剪该中间经裁剪光点以形成一第二经裁剪辐射脉冲，该第二经裁剪辐射脉冲具有一第二经裁剪光点，该第二经裁剪光点具有小于该中间经裁剪光点大小的一第二经裁剪光点大小。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 调整 辐射 大小 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种设备，其包括：一第一光束裁剪机，其具有界定安置在沿其可传输一辐射脉冲束的一光束传输路径中的一第一孔径的一第一光圈，该辐射脉冲光束具有具一第一光点大小的一第一光点，其中一第一光束裁剪机经组态使得在该光束传输路径中的一辐射脉冲束中的一辐射脉冲的一部分可透过该第一孔径相对于该第一光圈选择性地传输以传递具有一中间经裁剪光点的一中间经裁剪辐射脉冲，该中间经裁剪光点具有小于该第一光点大小的一中间经裁剪光点大小；及一第二光束裁剪机，其具有界定多个第二孔径的一第二光圈，其中该第二光束裁剪机经组态使得该多个第二孔径的各者可选择性地安置在该光束传输路径中，其中该多个第二孔径的各者经组态使得该经裁剪辐射脉冲的一部分可透过该多个第二孔径相对于该第二光圈选择性地传输以传递具有一第二经裁剪光点的一第二经裁剪辐射脉冲，该第二经裁剪光点具有小于该中间经裁剪光点大小的一第二经裁剪光点大小。
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