[发明专利]用于排空腔室并净化从所述腔室抽取的气体的装置和方法有效
| 申请号： | 201280061800.3 | 申请日： | 2012-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN104066989A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 海纳·克斯特斯;乌韦·戈特施利希 | 申请（专利权）人： | 斯特林工业咨询有限公司 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06;F04C19/00;F04C23/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 沈同全;车文 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于排空腔室(14)并用于对从所述腔室(14)抽取的气体清除任何外来物质的装置。所述装置包括干压缩真空泵(15)，该干压缩真空泵(15)具有被连接至待被排空的所述腔室(14)的入口(17)，并且适合与出口(18)处的可变条件无关地使所述入口压力维持在恒定水平。另外设置有中间管线(19)和液环真空泵(20)，中间管线(19)连接至干压缩真空泵(15)的出口(18)，液环真空泵(20)的入口被连接至中间管线(19)。本发明还涉及相应的方法。本发明使得能够可靠且有效地气体清除任何外来物质。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 空腔 净化 述腔室 抽取 气体 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于排空腔室(14)并用于对从所述腔室(14)抽取的气体清除所夹带的外来物质的装置，所述装置具有以下部件：a.干压缩真空泵(15)，所述干压缩真空泵(15)的入口(17)连接至待被排空的所述腔室(14)，并且所述干压缩真空泵(15)适合与出口(18)处的可变条件无关地使入口压力保持恒定；b.中间管线(19)，所述中间管线(19)连接至所述干压缩真空泵(15)的出口(18)；c.液环真空泵(20)，所述液环真空泵(20)的入口连接至所述中间管线(19)。
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