[发明专利]为MEMS以及NEMS机械结构形成枢轴的机械连接部有效
| 申请号： | 201280061416.3 | 申请日： | 2012-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN103987653B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 纪尧姆·约丹;迪克·尹泰尔特;帕特里斯·雷伊;阿诺·瓦尔特 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 武晨燕,徐川 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在微机电和/或纳机电结构(S)的两个部分(2、4)之间的机械连接部(6)，该机械连接部形成用于轴线旋转的枢轴(Y)，并且包括两个第一梁(20.1、20.2)和两个第二梁(22.1、22.2)，第一梁的轴线与所述枢轴(Y)的轴线平行，所述第一梁被配置为在扭转条件下工作，第二梁的轴线与第一梁的轴线正交，所述第二梁(22.1、22.2)被配置为在弯曲条件下工作，第一梁(20.1、20.2)和第二梁(22.1、22.2)中的每个在其端部处连接至所述结构(S)的所述两个部分(2、4)。 | ||
| 搜索关键词： | mems 以及 nems 机械 结构 形成 枢轴 连接 | ||
【主权项】：
一种在微机电和/或纳机电结构的两个部分(2、4)之间的形成具有枢转轴线(Y)的枢轴的机械连接部，包括至少一个第一梁(220)和至少一个第二梁(222)，第一梁(20.1、20.2、120)和第二梁(22.1、22.2、122)中的每个在其端部(220.2、222.2、220.1、220.2)处连接至所述结构的所述两个部分(2、4)，所述第一梁和第二梁具有在交叉点(C)处相交并且在其间限定角(α)的轴线，并且所述第一梁和第二梁在弯曲和扭转条件下工作，从而所述机械连接部的枢转轴线(Y)垂直于所述角(α)的二等分线(224)并且与所述第一梁(220)和第二梁(22)相交，以便使所述两个部分能够围绕所述枢转轴线(Y)旋转地移位并且防止所述两个部分沿着该枢转轴线(Y)平移地移位。
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