[发明专利]用于通过热流热成像法检查样品的方法

摘要

本发明提供了一种用于通过热流热成像法无损的、非接触的并且形成图像来检查样品的方法，其中所述检查包括评价样品表面下的任何热流速度转变的存在和/或深度距离值，其中所述样品被至少一个激发源的热脉冲激发，并且源于那里的热流被至少一个红外传感器以热图像的图像序列捕获，并且其中，通过信号和图像处理来评价从所述图像序列获得的热图像，并且以时间和空间分辨率描述热流。所述方法包括：通过来自所述激发源的热脉冲相互独立地至少两次激发样品，其中第二次激发以及任何随后的激发相对于前一次激发被延迟一个时延，由此被捕获的序列的起点发生在一个图像序列内的两个图像之间的时间内的另一个限定的时间点；通过红外传感器以独立的图像序列检测由所述样品的至少两次激发过程产生的相应的整个热流过程，所述图像序列含有所述激发以及来自样品的热应答信号，将所有被捕获的图像序列组合为一个总的图像序列，其中所有的图像以相对于脉冲状激发的时间点在时间上是正确的顺序排列，并且以本质上已知的方式从所述总的图像序列中提取来自所述样品表面的热流速度转变的深度距离的指示。在那里，所述热流速度转变可以是层状材料的一个较宽层，或者是基底中或低于工件表面的缺陷。

主权项

一种用于通过热流热成像法无损、非接触的并且形成图像来检查样品的方法，其中所述检查由评价样品表面下的任何热流速度转变的存在和/或深度距离值构成，其中所述样品被至少一个激发源的热脉冲激发，并且源于那里的热流被至少一个红外传感器以热图像的图像序列捕获，并且其中，通过信号和图像处理来评价从所述图像序列获得的热图像，并且以时间和空间分辨率描述热流，所述方法包括：通过来自于所述激发源的热脉冲相互独立地至少两次激发所述样品，其中第二次激发以及任何随后的激发相对于前次激发被延迟一个时延，由此被捕获的序列的起点发生在位于图像序列中的两个图像之间的时间内的另一个限定的时间点；通过红外传感器以含有所述激发以及来自所述样品的热应答信号的独立的图像序列检测由所述样品的至少两次激发过程产生的相应的整个热流过程；将所有被捕获的图像序列组合成一个总的图像序列，其中所有的图像按相对于所述脉冲状激发的时间点在时间上是正确的顺序排列，并且以本身已知的方式从所述总的图像序列中提取来自所述样品表面的热流速度转变的深度距离的指示。