[发明专利]用于横截面视图薄层的背侧打薄的高吞吐量TEM制备工艺和硬件

摘要

一种用于TEM样品制备和分析的方法，该方法可以用于FIB‑SEM系统中，而不需要对薄层或机动化的翻转台进行重焊、卸载、用户处理。该方法允许具有典型倾斜台的双束FIB‑SEM系统用于提取样品以形成衬底、将样品安装至能够倾斜的TEM样品支座上、用FIB铣削将该样品打薄、以及旋转样品从而使得样品面垂直于用于STEM成像的电子柱。

主权项

一种用于制备样品以用于成像的方法，该样品从工件形成并具有顶侧和背侧，通过使用从该背侧引导的离子束将该样品打薄而制备该样品以用于成像，该方法包括：将探针附装至该样品的顶侧上，该探针与该样品的顶面形成第一角度；从该工件提取该样品；将该探针旋转180度，从而将该样品的顶面的定向从水平位置改变至调换位置；将该样品附装至可倾斜的样品支座上，从而使得该样品的顶面与样品支座的平面垂直；将该样品支座倾斜，从而使得该样品支座的平面被定向为相对于样品台在90度，其中，该样品的背侧背朝该样品台；将该样品台倾斜，使得该样品的顶面被定向为与FIB柱的光轴近似地垂直，其中，该样品的背侧面朝该FIB柱；通过使用该离子束从该背侧铣削该样品来从该样品的第一侧将该样品打薄；将台旋转180度；以及通过使用该离子束从该背侧铣削该样品来从该样品的第二侧将该样品打薄，所述从该第二侧将该第二侧打薄产生表面，该表面与通过从该第一侧将该样品打薄所产生的表面平行。