[发明专利]等离子产生源及具备它的真空等离子处理装置

摘要

提供一种能够均匀且有效地冷却的等离子产生源及具备它的真空等离子处理装置和冷却方法。真空等离子处理装置具备内部被真空排气的真空腔室、和设在上述真空腔室内的等离子产生源。等离子产生源具有等离子产生电极，用来在上述真空腔室内产生等离子；和减压空间形成部件，在上述等离子产生电极的背面侧形成能够收容液体的冷却介质且将其减压的减压空间；用上述冷却介质通过上述减压蒸发时的气化热将上述等离子产生电极冷却。

主权项

一种等离子产生源，设在内部被真空排气的真空腔室的该内部，与该真空腔室一起构成真空等离子处理装置，其特征在于，具备：等离子产生电极，用来在上述真空腔室内产生等离子；减压空间形成部件，在上述等离子产生电极的背面侧形成减压空间，所述减压空间能够收容液体的冷却介质且将液体的冷却介质减压；和液化装置，将在上述减压空间内气化的冷却介质液化，在上述减压空间中，以该减压空间被排气的状态封入有上述冷却介质，上述减压空间形成部件与上述等离子产生电极一起形成包括圆筒状的周壁的箱体，该周壁的至少外周部分由上述等离子产生电极构成，在上述圆筒状的周壁的轴心位置设有上述液化装置，上述液化装置以夹着上述减压空间与上述等离子产生电极的背面对置的方式配置，具有上述圆筒状的周壁的箱体绕其轴心旋转自如地配备，构成为，随着该箱体的旋转，向等离子产生电极的内周面整面涂敷扩散液体的冷却介质，用上述冷却介质蒸发时的气化热将上述等离子产生电极冷却。