[发明专利]制备用于微观结构诊断的样品的方法和设备

摘要

本发明涉及制备用于微观结构诊断的样品的方法，样品尤其用于透射电子显微镜法TEM、扫描电子显微镜法或X射线吸收光谱法，其中，利用高能束沿着平的且优选具有平行面的板的两个相对表面中的每个表面照射板，使得作为辐射引起的材料去除的结果，在两个表面中的每个表面中形成凹陷部，凹陷部优选平行于中心板平面延伸，其中，形成两个凹陷部，以在中心板平面的两侧延伸，使得在两个凹陷部的纵轴线到中心板平面上的投影中观看时，纵轴线以预定角度α>0°、优选α≥10°、优选α≥20°、优选α≥30°交叉，且使得垂直于中心板平面观看时，在两个凹陷部的交叉区域中，优选具有预定最小厚度的对于电子束可透过的材料部分在凹陷部之间剩余作为样品。本发明还涉及对应设计的设备。

主权项

一种制备用于微观结构诊断的样品(P)的方法，所述样品尤其用于透射电子显微镜法TEM、扫描电子显微镜法或X射线吸收光谱法，利用高能束(3)分别沿着平坦的、优选地具有平行面的盘(1)的两个相对定位的表面(2a，2b)照射所述盘(1)，使得，由于束(3)引起的材料去除，将凹陷部(5a，5b)分别引入到这两个表面(2a，2b)中，所述凹陷部(5a，5b)优选地平行于中心盘平面(4)延伸，引入这两个凹陷部(5a，5b)，所述两个凹陷部(5a，5b)在所述中心盘平面(4)的两侧上延伸，使得在所述两个凹陷部(5a，5b)的纵轴线(6a，6b)到所述中心盘平面(4)上的投影中观看时，所述纵轴线(6a，6b)以预定角度α>0°、优选地α≥10°、优选地α≥20°、优选地α≥30°交叉，而且使得垂直于所述中心盘平面(4)观看时，在所述两个凹陷部(5a，5b)的交叉区域(7)中，具有预定最小厚度d₃的优选地已经电子束可透过的材料部分(8)在所述凹陷部(5a，5b)之间剩余作为样品(P)。