[发明专利]位移装置及其制造、使用和控制方法

摘要

位移装置包括定子及可移动台。该定子包括多个线圈，该多个线圈被定形成在一个或多个层中提供多个大致线性伸长的线圈迹线。线圈层可在Z方向上重叠。该可移动台包括多个磁体阵列。各磁体阵列可包括在对应方向上大致线性伸长的多个磁化区段。各磁化区段具有与磁化区段在其中伸长的方向大致正交的磁化方向，且其磁化方向的至少两个彼此不同。可连接一个或多个放大器以选择性驱动线圈迹线中的电流且从而实现该定子与该可移动台之间的相对移动。

主权项

一种位移装置，其包括：定子，其包括：第一多个伸长的线圈，其定形成提供工作区域，第一多个线圈迹线大致被线性地定位在该工作区域内，所述第一多个线圈迹线分布在相应的第一定子Z位置处的第一层上，每个所述第一多个线圈迹线大致在所述第一层沿定子X方向线性地伸长，用于承载在所述定子X方向的电流；和第二多个伸长的线圈，其定形成提供所述工作区域，第二多个线圈迹线大致被线性地定位在所述工作区域内，所述第二多个线圈迹线分布在相应的第二定子Z位置处的第二层上，每个所述第二多个线圈迹线大致在所述第二层沿定子Y方向线性地伸长，用于承载在所述定子Y方向的电流,所述定子Y方向不平行于所述定子X方向；所述第一和第二层在定子Z方向彼此重叠，所述定子Z方向大致正交于所述定子X方向和所述定子Y方向两者；和可移动台，其包括：第一磁体阵列，其包括在台X方向大致线性地伸长的多个第一磁化区段，每个第一磁化区段的相应磁化方向大致正交于所述台X方向，所述第一磁化区段中的至少两个的磁化方向彼此不同；和第二磁体阵列，其包括在不平行于所述台X方向的台Y方向大致线性地伸长的多个第二磁化区段，每个第二磁化区段的磁化方向大致正交于所述台Y方向，所述第二磁化区段中的至少两个的磁化方向彼此不同；一个或多个放大器，其经连接以驱动所述第一多个线圈迹线和所述第二多个线圈迹线中的电流；其中每个所述第一多个线圈迹线的定子X方向尺寸和每个所述第二多个线圈迹线的定子Y方向尺寸分别大于所述可移动台上的所述磁体阵列的台X方向延伸度和所述可移动台上的所述磁体阵列的台Y方向延伸度。