[发明专利]成膜装置和附带膜的玻璃膜的制造方法有效
| 申请号： | 201280049855.2 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103857824A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 齐藤隆义 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/18;C23C16/46;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够适宜在玻璃膜上形成膜的装置。成膜装置（1）具备加热辊（20）和膜形成部（30）。向加热辊（20）的表面上供给玻璃膜（10）。加热辊（20）对玻璃膜（10）进行加热。膜形成部（30）在玻璃膜（10）之上形成膜。加热辊（20）具有筒状体（21）和加热器（22）。筒状体（21）由玻璃或陶瓷构成。筒状体（21）以能够旋转的方式设置。加热器（22）配置在筒状体（21）的内部。加热器（22）对筒状体（21）进行加热。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 附带 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，其特征在于：其具备：其表面上被供给玻璃膜，对所述玻璃膜进行加热的加热辊；和，在所述玻璃膜之上形成膜的膜形成部，所述加热辊，具有：由玻璃或陶瓷构成的、能够旋转地设置的筒状体；和，在所述筒状体的内部配置的、对所述筒状体进行加热的加热器。
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