[发明专利]硬质膜、硬质膜形成体及滚动轴承

摘要

一种硬质膜、硬质膜形成体及滚动轴承，其具有高的耐磨损性，并且在耐剥离性上优异，能长期地防止剥离。硬质膜是由在作为基材的滚动轴承的内环（2）的内环轨道面（2a）上直接成膜的将Cr和WC作为主体的第一混合层（8a）、在第一混合层（8a）之上成膜的将WC和DLC作为主体的第二混合层（8b）和在第二混合层（8b）之上成膜的将DLC作为主体的表面层（8c）构成的构造的硬质膜（8），第一混合层（8a）是从基材侧向第二混合层（8b）侧连续地或者阶段性地Cr的含有率变小、WC的含有率变高的层，第二混合层（8b）是从第一混合层（8a）侧向表面层（8c）侧连续地或者阶段性地WC的含有率变小、DLC的含有率变高的层，第二混合层（8b）中的氢含有量是10～45原子%。

主权项

一种硬质膜，是形成在基材的表面上的硬质膜，其特征在于，上述硬质膜是由第一混合层、第二混合层和表面层构成的构造的膜，该第一混合层在上述基材的表面上直接成膜，以铬和碳化钨为主体；该第二混合层在该第一混合层之上成膜，以碳化钨和类金刚石碳为主体；该表面层在该第二混合层之上成膜，以类金刚石碳为主体，上述第一混合层是从上述基材侧向上述第二混合层侧连续地或者阶段性地该第一混合层中的上述铬的含有率变小、该第一混合层中的上述碳化钨的含有率变高的层，上述第二混合层是从上述第一混合层侧向上述表面层侧连续地或者阶段性地该第二混合层中的上述碳化钨的含有率变小、该第二混合层中的上述类金刚石碳的含有率变高的层，上述第二混合层中的氢含有量是10～45原子%。